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刘善群; 汤旭东; 喻卫兵; 陶玲; 伍平; 刘晓莉; 陆川; 赵雪梅;
中国电子科技集团公司第26研究所;
声表面波工艺; 兆声清洗; 压电晶圆;
机译:AlN薄膜的微区压电性能研究及高频声表面波器件的制造
机译:利用电子束光刻技术实现的基于纳米晶金刚石和氮化铝层状结构的超高频声表面波器件
机译:硅衬底表面预沉积清洗的晶圆干燥技术研究
机译:用最少的晶圆制造钻石声表面波器件
机译:声表面波器件的高频和宽带研究
机译:900 MHz声表面波器件的谐振频率读出电路
机译:基于薄膜压电叉指换能器的高频声表面波装置
机译:在蓝宝石衬底上使用mOCVD ZnOpeompressive薄膜开发高频声表面波器件
机译:浸没式半导体晶圆清洗设备,特别是用于清洗硅晶圆中的颗粒的设备,使用由晶圆材料制成的声窗将声音以兆声的形式传输到清洗液中
机译:声表面波器件的制造方法,高频模型和声表面波器件
机译:压电层压板,声表面波器件,薄膜压电谐振器和压电致动器。
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