具有集成的光探测器的长波长垂直腔表面发射激光器

摘要

本发明提供一种集成有光探测器的垂直腔表面发射激光器。该光探测器通过粘接层被附着到VCSEL的底表面，其包括具有预定直径的窗口。该粘接层为共晶粘接层。一空气隙存在于该窗口内并且主要传输激光束。大多数以一角度入射的自发发射的光被除了该窗口的该粘接层的区域所阻挡，而且由于半导体层和空气的折射率之间的大的差异，甚至某些朝向该窗口的自发发射的光无法容易地穿过该窗口。因此，该共晶粘接层显著降低了该VCSEL和该光探测器之间的界面处的电压降，由此有助于大规模生产。