双面键合长波长键合垂直腔面发射激光器的制备与分析

摘要

双面键合长波长垂直腔面发射激光器(VCSEL)的研制对于光通信的发展具有重要意义，可以有效克服传统外延生长方法的诸多难题。通过对布拉格反射镜、有源区和光学腔的设计，结合键合技术进行工艺设计，于国内首次研制出双面键合长波长垂直腔面发射激光器，并对器件进行了光泵浦和电泵浦测试与分析。器件的光泵和电泵激射证明结构及工艺设计是合理的，两次键合后的界面可以承受腐蚀，剥离、氧化等后工艺，且键合界面光、电性能良好，未对激光器性质造成明显不良影响。器件激射波长约在1 273.6 nm，脉冲条件下表现出动态单纵模特性，20微米尺寸器件常温连续工作条件下在仪器测试范围内最大输出功率为0.16 mw。