小尺寸高电容读出的基于硅的微机械加工机电检测器加速度计

摘要

本发明披露了一种用于检测加速度和其它力的装置和方法。所述装置具有盖板(12，204)，所述盖板包括内部部分和外部部分，所述内部部分形成有多个间隔开的电极(16)，这些电极从所述盖板上伸出并在其间限定间隔(28)；以及校验质量体(202)，其具有形成有多个间隔开的电极(24)的内部部分，这些电极从所述校验质量体上伸出并在其间限定间隔(30)，一个外部部分，其和所述盖板的外部部分相连，所述电极和所述盖板的电极电气绝缘，并且所述校验质量体的电极和间隔与所述盖板的电极和间隔对准，使得当校验质量体的内部部分(206)朝向盖板偏移时，校验质量体的电极进入盖板电极(16)之间的间隔，以及柔性的悬挂件(38)，其被连接在内部和外部校验质量体部分之间。