机译:基于体微加工的非冷却Al / SiO_2微悬臂红外探测器的简单制造
机译:微机械拱型悬臂作为高灵敏度非制冷红外探测器
机译:未冷却多元件红外成像阵列的热探测器。二。新的非隔热元件
机译:一种使用硅二极管的新的加工热红外探测器 - 用于IR检测的Micromachined隔离硅二极管(Misir)
机译:为热成像应用开发了与锗硅氧化物CMOS兼容的微机械红外探测器。
机译:利用未冷却场效应晶体管的THz检测器被动检测和成像人体辐射
机译:具有电容式位置感应的大位移CMOS微加工热执行器
机译:具有非制冷探测器的热成像仪器。