可缩短光掩模制造周期的光掩模供给系统

摘要

经由通信线路(500)从订货方计算机(300)发送含有针对光掩模图案的尺寸测长方法和掩模设计数据的规格数据。元件尺寸计算装置(100)，按照尺寸测长方法和掩模设计数据产生测长方案，向元件尺寸测长装置(200)发送。元件尺寸计算装置(100)根据测长数据和掩模设计数据，计算并导出图案的制造误差数据，经由通信线路向订货方发送。