公开/公告号CN1414614A
专利类型发明专利
公开/公告日2003-04-30
原文格式PDF
申请/专利权人 上海华虹(集团)有限公司;
申请/专利号CN02137195.4
发明设计人 李铭;
申请日2002-09-27
分类号H01L21/3205;H01L21/768;H01L21/283;
代理机构31200 上海正旦专利代理有限公司;
代理人陶金龙;陆飞
地址 200020 上海市淮海中路918号18楼
入库时间 2023-12-17 14:44:30
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-11-11
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L21/3205 授权公告日:20050504 终止日期:20140927 申请日:20020927
专利权的终止
2006-10-25
专利申请权、专利权的转移专利权的转移 变更前: 变更后:
专利申请权、专利权的转移专利权的转移
2005-05-04
授权
授权
2003-08-06
实质审查的生效
实质审查的生效
2003-04-30
公开
公开
机译: TaCN阻挡层在铜金属化工艺和铜金属层结构中制造TaCN阻挡层的方法
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