法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2004-07-14
发明专利申请公布后的视为撤回
发明专利申请公布后的视为撤回
2002-11-27
实质审查的生效
实质审查的生效
2002-09-04
公开
公开
2001-06-13
实质审查请求的生效
实质审查请求的生效
机译: 用于碳化硅单晶生长籽晶的碳化硅单晶生长籽晶的制造方法,碳化硅单晶的制造方法以及碳化硅单晶
机译: 用于碳化硅单晶生长的种子晶体,其制备方法,碳化硅单晶以及制备方法
机译: 碳化硅单晶生长的坩埚,使用碳化硅单晶制造碳化硅单晶的方法以及碳化硅单晶锭