太平洋セメントなど，SiCバルク単結晶成長用粉末原料を開発

摘要

太平洋セメントは産業技術総合研究所，屋久島電工と共同で，パワー半導体用炭化ケイ素（SiC）バルク単結晶の高速成長を可能とする昇華法用高純度SiC粉末原料を開発した。SiC原料粉末からの昇華ガスの発生しやすさに着目し，ガスの透過性を利用した空気透過法を用いて，現状の製造工程での温度条件を大きく変えずに成長速度を約2倍に向上させることが可能となる粒子形状を有した高純度SiC粉末原料を開発したもの。