具有谐振结构的传感器,尤其是加速度或转速传感器及用于自检测的装置及方法

摘要

一种自检验传感器,尤其用于测量转速及加速度,包括一个振荡结构或谐振结构2;一个致动单元,用于将该结构(2)激励成第一周期性振荡;一个压电电阻单元(5)用于产生与被测量相关的输出信号;及用于从输出信号中分离该检验信号分量的装置(5),其中检验信号分量由在第一振荡上叠加该结构(2)的第二周期性振荡来产生。一种用于传感器自检验的装置具有用于从传感器周期性输出信号中分离出检验信号分量的装置(5),该检验信号分量被叠加在有效信号分量上;及比较装置,用于将检验信号分量与一个预定值或一个传送给传感器的检验信号相比较。为了自检验,使结构(2)的第一振荡与第二周期性振荡相叠加;及检测输出信号,该输出信号包括关于被测量的信息。监测包含在输出信号中的检验信号分量。