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程保罗; 李昕欣; 王跃林; 焦继伟; 车录锋; 杨恒; 戈肖鸿; 宋朝晖;
中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点联合实验室;
微机电系统; 加速度传感器; 自检功能; 静电驱动; 侧壁扩散; 绝缘工艺;
机译:DNA功能化整体水凝胶的静电定向视觉荧光响应,用于高灵敏度Hg〜(2+)检测
机译:带有HARP目标的静电聚焦FEA图像传感器:朝着报告夜间紧急情况的紧凑型超高灵敏度相机迈进
机译:带有加速度传感器的风轮机支撑结构中安全相关缺陷的早期检测评估方法-对比分析
机译:用静电灵敏度调谐功能检查谐振MEMS加速度传感器
机译:基于高灵敏度纳米粒子的多功能生物传感器,用于抗原检测。
机译:小型化自读出可读共振悬臂和集成静电微通道分离器的策略用于高灵敏度机载纳米颗粒检测
机译:静电纺丝:带有图案化功能电解电极的绝缘表面上的静电纺丝纳米纤维(ADV。母体。接口5/2018)
机译:基于mEms的无线加速度传感器在直升机传动齿轮齿故障检测中的应用。
机译:带有流体传感器元件的倾角和加速度检测器-在充满流体的胶囊中具有高灵敏度的温度响应电阻器,具有电桥电路信号评估功能
机译:带有电加速度传感器的具有振动检测功能的RFID标签系统
机译:带有触摸检测功能的静电电容式触摸屏和显示装置
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