静電式感度チューニング機能を有する共振式MEMS加速度センサの検討

摘要

安価で製造工程が簡易なSOI（Silicon On Insulator）-MEMS技術による共振子を用い専用の補助電極への電圧で発生する静電力による感度チューニングが可能な共振式加速度センサの検討を行った。静電力印加時の共振周波数変化をシミュレーションするとともに、そのプロトタイプの試作·評価を行った。