一种单根纳米线、制备方法、氢气传感器及微纳机电设备

摘要

本发明属于纳米金属材料技术领域，公开了一种单根纳米线、制备方法、氢气传感器及微纳机电设备，基底上沉积有金属层；金属层中间刻蚀有沟道；沟道内沉积有单根纳米线。本发明提供的纳米线超薄，解决了以Pd作为氢敏材料反应灵敏度不高等问题。相对于Pd薄膜，纳米线的比表面积大，其氢敏性能更加优异。本发明是在可视化条件下操作的，Pd纳米线的尺寸、位置、数量可以根据需求实现可控调节。