公开/公告号CN101871098B
专利类型发明专利
公开/公告日2012-10-10
原文格式PDF
申请/专利权人 北京大学;
申请/专利号CN200910082891.9
申请日2009-04-22
分类号C23C16/34(20060101);C23C16/02(20060101);C30B25/02(20060101);C30B25/18(20060101);
代理机构11002 北京路浩知识产权代理有限公司;
代理人杨静
地址 100871 北京市海淀区颐和园路5号
入库时间 2022-08-23 09:11:33
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-12-29
专利权的转移 IPC(主分类):C23C 16/34 登记生效日:20171211 变更前: 变更后: 申请日:20090422
专利申请权、专利权的转移
2017-09-01
专利权的转移 IPC(主分类):C23C 16/34 登记生效日:20170814 变更前: 变更后: 申请日:20090422
专利申请权、专利权的转移
2017-09-01
专利权的转移 IPC(主分类):C23C 16/34 登记生效日:20170814 变更前: 变更后: 申请日:20090422
专利申请权、专利权的转移
2013-12-18
专利权的转移 IPC(主分类):C23C 16/34 变更前: 变更后: 登记生效日:20131128 申请日:20090422
专利申请权、专利权的转移
2013-12-18
专利权的转移 IPC(主分类):C23C 16/34 变更前: 变更后: 登记生效日:20131128 申请日:20090422
专利申请权、专利权的转移
2013-12-18
专利权的转移 IPC(主分类):C23C 16/34 变更前: 变更后: 登记生效日:20131128 申请日:20090422
专利申请权、专利权的转移
2012-10-10
授权
授权
2012-10-10
授权
授权
2012-10-10
授权
授权
2010-12-08
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/34 申请日:20090422
实质审查的生效
2010-12-08
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/34 申请日:20090422
实质审查的生效
2010-12-08
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/34 申请日:20090422
实质审查的生效
2010-10-27
公开
公开
2010-10-27
公开
公开
2010-10-27
公开
公开
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