一种MEMS线性静电驱动技术

摘要

本发明公开了一种MEMS线性静电驱动技术，属于微机电系统领域。该技术基于一个MEMS线性静电驱动系统实现，所述系统主要包括梳齿结构部分Ⅰ和驱动电路部分Ⅱ，通过在对称的固定梳齿部分接入不同的驱动电压，使可动梳齿部分受到的静电力为接入不同驱动电压的两组梳齿结构产生的侧向静电力之和，将静电力与驱动电压间的平方关系转化为与不同驱动电压之间的和差关系。设计分压电路使两驱动电压之和为定值不变，可动梳齿部分受到的静电力合力与其中一路的驱动电压呈线性关系，因此通过调节分压电路可实现精确的线性静电驱动。