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机译:静电驱动MEMS结构的非线性动力学分析
Kalyanaraman, Rakesh;
Concordia University (Canada);
机译:通过流场静电驱动驱动的MEMS拱门局部非线性动力学
机译:参数激励下静电激励谐振MEMS传感器的非线性动力学分析
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机译:使用MEMS致动器的静电立式微致动器的组装装置,具有该静电立式微致动器的静电立式微致动器及其制造方法
机译:使用MEMS致动器的静电垂直微致动器的组装装置,其中的静电垂直微致动器及其制造方法和简化的过程
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