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MEMS光开关的静电驱动技术

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摘要

本文主要介绍MEMS光开关4种静电驱动的不同结构,及其各自在光开关性能上的优势与不足,这对MEMS光开关的设计研究具有参考价值.

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来源
《中国仪器仪表》 |2005年第6期|73-75|共3页
作者
林静; 黄元庆;
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作者单位

厦门大学机电工程系,福建,厦门,361005;

厦门大学机电工程系,福建,厦门,361005;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类电器;
关键词
MEMS光开关静电驱动悬臂梁驱动扭臂驱动梳状驱动 SDA;

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