基于MEMS的光开关技术研究

摘要

介绍了光开关、MEMS和MEMS光开关的基本概念。基于功能实现,重点分析了二维和三维MEMS光开关的实现机理与特性。针对两者不足,研究了一维MEMS光开关。分析了MEMS光开关的驱动方式,并针对静电驱动、二维MEMS光开关,研究了MEMS光开关控制系统。