机译:具有主动接触式机构的静电驱动MEMS开关的特性研究
Yaroslavl Branch of the Institute of Physics and Technology Russian Academy of Sciences;
Yaroslavl Branch of the Institute of Physics and Technology Russian Academy of Sciences;
机译:具有主动接触式机构的静电驱动MEMS开关的特性研究
机译:微电平静电驱动悬臂和金属接触基于多频段应用的RF MEMS开关
机译:欧姆接触,静电驱动的RF MEMS开关的动态性能的建模,仿真和测量
机译:静电驱动RF-MEMS开关的主动热回收机制研究
机译:探索MEMS开关触点中的热开关损坏和损坏机理。
机译:严重欠阻尼边缘场静电MEMS执行器的改善开关时间的实时直流动态偏置方法
机译:横向静电驱动直流电致动RF MEMS系列开关的非线性致动模型