EUV掩模缺陷检测系统及方法

摘要

一种EUV掩模缺陷检测系统及方法，其中EUV掩模检测系统包括：极紫外光束，所述极紫外光束斜射入一待测掩模表面；反光杯，用于收集并反射因待测掩模表面缺陷引起的散射光；传输部件，用于将所述反光杯发出的反射光进行传输；探测器，用于接收所述传输部件传输的光信号，获取待测掩模表面缺陷信息。本发明设计将极紫外光束斜射入待测掩模，允许反光杯作为收集部件更加靠近待测掩模表面，进而增大了收集部件NA，提高缺陷引起的散射光收集效率。