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公开/公告号CN110828658A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-02-21
原文格式PDF
申请/专利权人 北京北方华创微电子装备有限公司;
申请/专利号CN201810896709.2
发明设计人 郭万国;蒋秉轩;宋海洋;王宽冒;高晓丽;刘菲菲;
申请日2018-08-08
分类号
代理机构北京天昊联合知识产权代理有限公司;
代理人彭瑞欣
地址 100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号
入库时间 2023-12-17 07:51:36
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-03-17
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L45/00 申请日:20180808
实质审查的生效
2020-02-21
公开
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