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基于《TiO2基阻变存储器件性能》的教学实践探索

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摘要

采用直流磁控溅射法在重掺硅(n+-Si)上制备TiO2薄膜,通过电子束蒸发镀膜仪在TiO2薄膜上沉积Au上电极,获得Au/TiO2+-Si结构的阻变存储器件.研究了氧分压对薄膜结晶性能及对器件电阻开关特性的影响,同时研究了器件的高低阻态电阻值及其高低阻值比随氧分压的变化情况.

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来源
《教育教学论坛》|2018年第24期|159-160|共2页
作者
李红霞; 邹永应; 杨臻婷; 季振国;
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作者单位

杭州电子科技大学材料与环境工程学院,杭州 310018;

杭州电子科技大学材料与环境工程学院,杭州 310018;

杭州电子科技大学材料与环境工程学院,杭州 310018;

杭州电子科技大学材料与环境工程学院,杭州 310018;

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正文语种 chi
中图分类教学研究与改革;
关键词
TiO2薄膜; 电阻开关; 氧分压;

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