一种晶片检测装置、晶片传输系统及晶片检测方法

摘要

本申请提供了一种晶片检测装置、晶片传输系统及晶片检测方法，设置于装载腔室上，包括：反射板、收发器和固定板；所述固定板安装在所述装载腔室的侧壁上，所述固定板上设置有通光孔；所述收发器安装在所述固定板上，且所述收发器通过所述通光孔向所述装载腔室内发射激光，并通过所述通光孔接收所述激光的反射光；所述反射板安装在所述装载腔室的外门上，所述侧壁与所述外门相对设置，并且所述反射板与所述通光孔相对设置，所述反射板用于对所述收发器发射的激光进行反射；控制器，根据所述收发器通过所述通光孔接收的所述反射光，确定所述装载腔室中预定位置是否存在晶片，从而解决了晶片检测错误的问题。