公开/公告号CN104440519A
专利类型发明专利
公开/公告日2015-03-25
原文格式PDF
申请/专利权人 德州仪器公司;
申请/专利号CN201410471921.6
发明设计人 克里斯托弗·李·舒特;普拉卡什·拉克希米坎坦;
申请日2014-09-16
分类号B24B37/26(20120101);H01L21/304(20060101);
代理机构11287 北京律盟知识产权代理有限责任公司;
代理人路勇
地址 美国德克萨斯州
入库时间 2023-12-17 04:14:53
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-06-05
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):B24B37/26 申请公布日:20150325 申请日:20140916
发明专利申请公布后的视为撤回
2016-09-28
实质审查的生效 IPC(主分类):B24B37/26 申请日:20140916
实质审查的生效
2015-03-25
公开
公开
机译: 抛光垫表面形状测量仪,使用抛光垫表面形状测量仪的方法,测量抛光垫锥的顶角的方法,测量抛光垫的凹槽深度的方法,CMP抛光机以及制造半导体器件的方法
机译: 抛光垫表面形状测量仪,使用抛光垫表面形状测量仪的方法,测量抛光垫锥的顶角的方法,测量抛光垫的凹槽深度的方法,CMP抛光机以及制造半导体器件的方法
机译: 抛光垫表面形状测量仪,使用抛光垫表面形状测量仪的方法,测量抛光垫锥的顶角的方法,测量抛光垫的凹槽深度的方法,CMP抛光机以及制造半导体器件的方法