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具有调节高度的三维主体的半导体器件

摘要

描述了具有调节高度的三维主体的半导体器件和形成这样的器件的方法。例如,半导体结构包括具有设置在衬底之上的第一半导体主体的第一半导体器件。第一半导体主体具有第一高度和带有第一水平面的最上表面。半导体结构还包括具有设置在衬底之上的第二半导体主体的第二半导体器件。第二半导体主体具有第二高度和带有第二水平面的最上表面。第一和第二水平面是共平面的,且第一和第二高度是不同的。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-03-22

    发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L29/78 申请公布日:20140917 申请日:20111221

    发明专利申请公布后的驳回

  • 2014-10-22

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L29/78 申请日:20111221

    实质审查的生效

  • 2014-09-17

    公开

    公开

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