一种氮化镓LED蓝宝石衬底柔性电子应用的激光剥离方法

摘要

本发明公开了一种氮化镓LED蓝宝石衬底柔性电子应用的激光剥离方法，使用大功率而且作用时间很短的激光发射，在介面区域产生足够的热量使氮化镓分解成金属镓和氮气，并且由于激光的作用时间很短，热量较为集中，故分解的氮化镓只有介面附近的几百纳米厚，不会破坏氮化镓LED的核心区域；在照射过后，介面区域将只有一层由氮化镓分解而留下的镓金属，它将蓝宝石衬底与氮化镓连接起来；加热将氮化镓与蓝宝石衬底分开；用稀释的盐酸溶液去除分离之后氮化镓上的镓金属殘留。相对于现有技术，本发明可以用简单快速的方法，有效地将整个LED阵列原样地对蓝宝石衬底进行剥离与转移。