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在蓝宝石衬底两个相反c面同时生长氮化镓薄膜的差异

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摘要

运用金属有机气相外延设备 ,在蓝宝石衬底两个相反取向的 c面上同时生长六方相氮化镓薄膜 .对此进行了扫描电子显微镜、俄歇电子能谱、透射电子显微镜的分析和研究 .

著录项

来源
《半导体学报》 |2001年第8期|1030-1034|共5页
作者
韩培德; 段晓峰; 孙家龙; 张泽; 王占国;
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作者单位

中国科学院半导体研究所;

半导体材料科学实验室;

中国科学院凝聚态物理中心;

北京电子显微镜实验室;

天津市半导体技术研究所;

天津市理化分析中心;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TN304.23;
关键词
蓝宝石; 衬底; 氮化镓; 微观结构; 薄膜;

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