公开/公告号CN102944709A
专利类型发明专利
公开/公告日2013-02-27
原文格式PDF
申请/专利权人 北京天中磊智能科技有限公司;
申请/专利号CN201110233811.2
申请日2011-08-16
分类号G01R11/02(20060101);H01L25/00(20060101);H01L23/31(20060101);H01L21/50(20060101);H01L21/56(20060101);
代理机构
代理人
地址 100012 北京市朝阳区林翠东路国奥村东区10号楼1-101
入库时间 2024-02-19 16:54:30
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-03-01
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L25/00 申请公布日:20130227 申请日:20110816
发明专利申请公布后的驳回
2013-03-27
实质审查的生效 IPC(主分类):G01R11/02 申请日:20110816
实质审查的生效
2013-02-27
公开
公开
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