晶圆缺陷的感测系统及感测方法

摘要

提供一种晶圆缺陷的感测系统，其包括：定向传感器、基座以及缺陷传感器。定向传感器被配置以在晶圆斜角上探测定向基准部。基座被配置以旋转晶圆，以允许定向传感器探测定向基准部并将定向基准部放置于预定的定向位置。缺陷传感器被配置以在基座旋转晶圆时沿晶圆表面探测晶圆缺陷。还提供一种晶圆缺陷的感测方法。