用于晶圆级感测元件的自我测试系统及其方法

摘要

本发明是有关于一种用于晶圆级感测元件的自我测试系统及其方法。自我测试系统包含晶圆级感测元件及测试模块。晶圆级感测元件包含固定单元及可动单元，其中固定单元与可动单元之间形成感应电容。测试模块用以电性连接晶圆级感测元件，且测试模块包含测试电路，用以量测感应电容。其中，晶圆级感测元件用以接收输入信号，使感应电容产生电容值变化量，而测试电路则根据电容值变化量，输出测试信号。