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无胶转移制备单层过渡金属硫族化合物纵向异质结的方法

摘要

本发明公开了一种无胶转移制备单层过渡金属硫族化合物纵向异质结的方法,该方法首先将熔盐与过渡金属氧化物粉末混合作为蒸发源,通过熔盐辅助化学气相沉积法生长制备过渡金属硫族化合物。然后通过使用去离子水,使去离子水与过渡金属硫族化合物接触,过渡金属硫族化合物会随水漂浮,通过水的流动,将过渡金属硫族化合物转移至任意目标衬底,通过多次转移过渡金属硫族化合物制备纵向异质结以及多层堆叠的纵向异质结。本发明不使用任何有机胶作为中间辅助层,可解决残胶的问题,也不使用任何腐蚀性溶液,可防止腐蚀性溶液对过渡金属硫族化合物的破坏和掺杂,为过渡金属硫族化合物转移及其纵向异质结的制备提供新的方法,对于促进过渡金属硫族化合物及其纵向异质结的研究与应用具有重要的意义。

著录项

  • 公开/公告号CN110241400A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2019-09-17

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 西安交通大学;

    申请/专利号CN201910523538.3

  • 发明设计人 潘毅;张林;闵泰;

    申请日2019-06-17

  • 分类号C23C16/30(20060101);C23C16/56(20060101);

  • 代理机构61200 西安通大专利代理有限责任公司;

  • 代理人姚咏华

  • 地址 710049 陕西省西安市咸宁西路28号

  • 入库时间 2024-02-19 13:13:10

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2020-08-28

    授权

    授权

  • 2019-10-15

    实质审查的生效 IPC(主分类):C23C16/30 申请日:20190617

    实质审查的生效

  • 2019-09-17

    公开

    公开

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