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公开/公告号CN109690728A
专利类型发明专利
公开/公告日2019-04-26
原文格式PDF
申请/专利权人 应用材料公司;
申请/专利号CN201780055121.8
发明设计人 盛殊然;阿部忍;桑原庆太;崔苏河;
申请日2017-07-31
分类号
代理机构北京律诚同业知识产权代理有限公司;
代理人徐金国
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2024-02-19 10:15:20
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-05-21
实质审查的生效 IPC(主分类):H01J37/32 申请日:20170731
实质审查的生效
2019-04-26
公开
机译: 大面积VHF PECVD腔室,用于低损伤和高通量等离子体处理
机译:基于双隔室模型使用低对高多次扩散MRI将高频电导率分解成细胞外和细胞腔室
机译:一个微型主动匹配的天线,用于低VHF的高功率和带宽增强操作
机译:校正至:低氯化物与含高氯化物的高渗溶液,用于治疗蛛网膜下腔出血相关的并发症:醋酸乙酸酯(脑水肿低氯气高渗溶液)随机试验
机译:移动基体上的VHF大面积等离子体处理
机译:用于光学互连和通信的高速,低驱动电压垂直腔MQW调制器。
机译:用于治疗蛛网膜下腔出血相关并发症的低氯化物与高氯化物高渗溶液:ACETatE(一种用于脑水肿的低氯高渗溶液)随机试验
机译:通信系统谐振腔的设计和性能。研究了谐振腔的理论和性能,这些谐振腔适用于VHF和UHF频段的移动无线电和基站。
机译:用于VHF鞭状天线的阻抗和功率测试的紧凑腔室