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大面积梯形电极VHF-PECVD反应室电磁场三维数值模拟

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采用Ansoft HFSS三维电磁场仿真软件,在三维空间对大面积梯形电极VHF-PECVD反应室的电磁场分布进行模拟,模拟结果与文献报道的实验结果及理论计算结果具有很好的吻合,这验证了HFSS软件模拟大面积VHF-PECVD反应室电磁场分布的可靠性.

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来源
《天津职业院校联合学报》 |2010年第5期|41-44|共4页
作者
赵静;
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作者单位

天津市新华职工大学,天津市,300040;

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正文语种 chi
中图分类计算数学 ;
关键词
VHF-PECVD; 梯形电极; 电磁场 ;

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