法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-01-04
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 16/505 授权公告日:20091209 终止日期:20151119 申请日:20071119
专利权的终止
2009-12-09
授权
授权
2008-07-23
实质审查的生效
实质审查的生效
2008-05-28
公开
公开
机译: 电网分散式稳定方法,涉及根据馈入功率的要求,相对于实际最大发电机功率,将电网分散式稳定系统的馈入功率最小化
机译: 大面积PECVD腔室中均匀过程的电极和功率耦合方案
机译: 大面积PECVD腔室中均匀过程的电极和功率耦合方案