基于电容位置检测反馈控制的MEMS微镜

摘要

本发明公开了一种基于电容位置检测反馈控制的MEMS微镜，属于微机电控制技术领域。该微镜包括玻璃基板、硅结构框架、驱动梁、微镜片和四块电容片；四块电容片呈矩形布置在玻璃基板的表面，微镜片通过对驱动梁加电压受热变形实现偏转；通过建立驱动电压与微镜片的偏转角度关系作为对控制器的信号输入，利用电容片上的电容值与微镜片实际扭转角之间的关系作为反馈值对控制器进行信号反馈，形成对控制器中微镜片扭转角的闭环控制。