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基于MEMS的微电容式无线加速度传感器的研究

     

摘要

介绍了一种基于MEMS技术制作的微电容式无线加速度传感器的设计与实现.研究了无线加速度传感器的整体设计方案,给出了硬件电路设计和软件设计过程,并实现了原型产品的调试与制作.为验证原型产品的有效性,将其安装在实际桥梁上进行振动测试,给出了数据分析计算结果.

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