压阻拾振的微谐振器、激振/拾振电路及压力传感器

摘要

本公开提供一种压阻拾振的微谐振器、激振/拾振电路及压力传感器，该压阻拾振的微谐振器包括：锚点结构以及设置于锚点结构之上的可动结构；该可动结构，包括：H形梁结构、拾振端、驱动电极以及压敏电阻；其中，两根单梁的两端上分别设置有条形凹槽，该条形凹槽向拾振端延伸，将拾振端分为谐振信号检测段‑接地段‑谐振信号检测段三段结构，压敏电阻设置在单梁与谐振信号检测段的连接处。本公开提供的压阻拾振的微谐振器、激振/拾振电路及压力传感器采用压阻拾振方式，提高了谐振器的输出信号强度。