谐振传感器技术中光学激振拾振原理研究

摘要

全光纤－谐振传器技术是８０年代中期出现的一种新型传感器技术，由于它兼有光纤、谐振传感技术和硅微结构的优点，因而被认为在航空、医学等领域尤其具有重要的应用价值。硅微细加工工艺、光学激振和拾振是这一技术研制中的三个着急问题。本文将就方形硅膜片光学激振和拾振的原理进行了探讨和分析。