微拾振器压电悬臂梁结构的设计与测试

摘要

提出了一种压电悬臂梁结构的微拾振器,利用有限元法计算了结构的固有频率和电压输出,以设计适合具体应用环境的器件结构.采用MEMS技术制备了器件原型并进行了试验测试.研究表明,所制备的器件在加速度为9.8 m/s2的低频谐振激励下电压输出达200 mV以上.考虑到压电薄膜的制备和湿法刻蚀硅造成的不均匀性,可以认为,测试结果和模拟结果基本相符,为设计、制备高性能的器件打下了良好的基础.