一种基于标准CMOS工艺的芯片级光谱检测器件

摘要

本发明提供的一种基于标准CMOS工艺的芯片级光谱检测器件，包括利用标准CMOS集成电路工艺集成的光谱检测芯片本体，该光谱检测器件具有体积小、重量轻、成本低等优点；而且，该器件可以和大规模集成电路完美兼容，便于后续信号的采样、处理和传输；光谱检测芯片本体包括入射光准直衍射模块和光强度感应模块，光强感应模块设置在入射光准直衍射模块的底部，用于接收通过入射光准直衍射模块衍射后的入射光；其中，入射光准直衍射模块包括m个平行排列的光学微腔体，光学微腔体的顶部形成有双层狭缝；通过不同的场强分布信息区分入射光的波长信息，从而实现光谱分析功能。