压印光刻印模的制作和使用方法

摘要

公开了一种用于压印光刻工艺的印模(14)，所述印模包括弹性体印模主体，所述弹性体印模主体包括聚硅氧烷主体部分(110)和图案化表面，所述图案化表面包括用于对压印成分(12)进行压印的特征图案(16)，其中，所述弹性体印模主体包含碱性有机胺，其量基于弹性体印模主体的总重量为至少0.1％重量比。还公开了制造这种印模的方法，以及使用这种印模在基底上形成图案化层的方法。