摘要:本研究以具有五条不同微米线径的微槽道模仁为研究载具,使用射出成型进行实验,一开始根据田口法的二水准直交表L8(27)进行实验找出重要的制程参数及交互作用,再以田口法的三水准直交表L27(313)再进行更详尽的射出实验,最后使用ANOVA分析来得到考量交互作用之后,具有影响力的制程参数群(可靠度为95﹪)及其贡献度,并且讨探重要制程参数对于微特征收缩影响效应的物理意义.根据L8(27)的二水准田口直交表实验结果决定出重要的制程参数为模温、塑温、保压压力及射出速度四项参数,而交互作用项为模温×射速,塑温×射速,及保压压力×射速三项;而根据L27(313)三水准田口直交表实验数据进行ANOVA分析得知微观线径尺寸在250~800μm范围内,最具影响力的制程参数均是塑温,当线径尺寸降至100μm,最具影响力的制程参数则为模温,而具有第二影响力的制程参数则均为射速,因此可知在射出具有微米尺寸的成品时,温度及射出对于成品的收缩率影响甚大,可推论出射出过程的充填阶段对于微特征的收缩率影响最大;而对于微特征成品的射出过程,模温越高、塑温越低、及射出速度越高时,微特征的宽度收缩率会越小.