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感光性树脂组合物、感光性树脂涂层、感光性干膜、层合体和图案形成方法

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本发明为感光性树脂组合物、感光性树脂涂层、感光性干膜、层合体和图案形成方法。将包含(A)包含具有式(a1)的重复单元和具有式(b1)的重复单元的有机硅树脂、(B)填料和(C)光致产酸剂的感光性树脂组合物涂布至基底上，以形成感光性树脂涂层，所述感光性树脂涂层可以被加工成厚膜形式的精细图案，具有改进的膜性质如耐开裂性并且可靠地作为保护膜。

著录项

公开/公告号CN109388023A

专利类型发明专利
公开/公告日2019-02-26

原文格式PDF
申请/专利权人信越化学工业株式会社;
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申请/专利号CN201810899848.0
发明设计人丸山仁;近藤和纪;
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申请日2018-08-09
分类号
代理机构中国国际贸易促进委员会专利商标事务所;
代理人杜丽利
地址日本东京
入库时间 2024-02-19 06:47:20

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2020-08-11

实质审查的生效 IPC(主分类):G03F7/004 申请日:20180809

实质审查的生效
2019-02-26

公开

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