感光性ポリイミド・感光性ポリベンズオキサゾールの開発

摘要

感光性，絶縁膜および保護膜の幾能をもつ感光性ポリイミド，感光性ポリベンズオキサゾールは半導体分野の配線部分の層間絶縁膜，保護膜およびその形成プロセスを簡略化するための重要な役割を果たしている．これら耐熱性感光性ポリマーの最近の進歩について，画像形成機構に着目して，ポジおよびネガ型感光性ポリイミド，ポジおよびネガ型感光性ポリベンズオキサゾールの順で解介する．まず，工業的に用いられている感光性ポリイミド，感光性ポリベンズオキサゾールについて述べた後，これらの感光性ポリマーの抱える問題に対処するための最近の進歩，次世代の感光性ポリマーに要求される諸特性，すなわち，高感度化，低誘電性，低温環化などに対応した新規なレジスト構成および分子設計，さらにはプロセスの簡略化に対応した感光性ポリマー溶液の簡便な調整法の開発など多岐にわたる報告例を紹介する．