感光性親撥材料を用いた新規なﾊﾟﾀｰﾝ形成方法

摘要

我々は温和な露光条件で塗膜表面の撥液性を親液性に変換可能な感光性親撥材料(PISC;Photo-induced Surface Control Material)を開発し、従来方法とは全く異なる、新規なﾊﾟﾀｰﾝ形成方法を提案する。新規ﾊﾟﾀｰﾆﾝｸﾞ法ではPISC 表面の親液性・撥液性ｺﾝﾄﾗｽﾄによって、塗布されたｲﾝｸがﾊﾟﾀｰﾝを自己形成するため、良好なﾊﾟﾀｰﾝを簡便に得ることができる(Type A)。例えば光を反射、吸収する成分を高濃度に含むｲﾝｸ等、ﾘｿｸﾞﾗﾌｨｰ技術が適用困難な材料でも容易にﾊﾟﾀｰﾆﾝｸﾞすることができ、適用材料の幅が広い。一方、PISC の親液部をｱﾙｶﾘ可溶性へと設計変更することで、親液部を現像除去でき、容易に除去可能な鋳型を形成することも可能である(Type B)。本鋳型を用いた新規ﾊﾟﾀｰﾆﾝｸﾞ法では鋳型の膜厚を調節することで、得られる膜のｱｽﾍﾟｸﾄ比のｺﾝﾄﾛｰﾙが可能である。