感光性親撥材料を用いた新規な?????形成方法

摘要

我々は温和な露光条件で塗膜表面の撥液性を親液性に変換可能な感光性親撥材料(PISC; Photo-induced Surface Control Material)を開発し、従来方法とは全く異なる、新規な?????形成方法 を提案する。新規????????法ではPISC 表面の親液性?撥液性??????によって、塗布された???が ?????を自己形成するため、良好な?????を簡便に得ることができる(Type A)。例えば光を反射、吸 収する成分を高濃度に含む???等、????????技術が適用困難な材料でも容易に????????することが でき、適用材料の幅が広い。一方、PISC の親液部を????可溶性へと設計変更することで、親液部 を現像除去でき、容易に除去可能な鋳型を形成することも可能である(Type B)。本鋳型を用いた新 規????????法では鋳型の膜厚を調節することで、得られる膜の??????比の??????が可能である。