机译:高温复合AlN-TiB_2-TiSi_2复合反应/非反应直流磁控溅射
机译:溅射参数对室温直流反应磁控溅射沉积AlN薄膜结构和残余应力的影响
机译:Cu的作用对由高功率脉冲磁控溅射和脉冲DC磁控溅射组合的混合系统沉积的TIB2膜微观结构和性能
机译:通过直流反应磁控溅射和高功率脉冲磁控溅射(Hipims),织地织地织地造成的ALN薄膜的生长沉积在Si(100)上沉积在Si(100)上
机译:通过活性直流磁控溅射合成具有增强的光活性和红移光响应的混合相二氧化钛纳米复合材料。
机译:镧的非反应性溅射沉积和氮化镧的反应性溅射沉积过程中结构形成的原位和实时监测
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