机译:通过过滤窗口提高在快速热系统(RTP:快速热工艺)中加热的硅晶片的温度均匀性
机译:线性升温温度瞬态快速热处理中12英寸硅片的热均匀性
机译:逆传热法快速热处理12英寸硅片的热均匀性
机译:灯加热器快速热处理期间晶圆上的最佳加热控制条件
机译:使用原位椭偏仪在快速热处理中测量和控制硅片温度和氧化膜厚度。
机译:硅片上晶圆级抗反射3D分层结构的快速处理及其模板
机译:快速热系统中窗口热扩散率对硅片温度的影响
机译:向美国能源保护部和太阳能应用部门报告太阳能加热和冷却系统开发分析太阳能热工艺的模拟和设计