机译:通过过滤窗口提高在快速热系统(RTP:快速热工艺)中加热的硅晶片的温度均匀性
RIP; Wafer temperature uniformity; Quartz window; Numerical simulation; Radiative properties; Filter;
机译:通过过滤窗口提高在快速热系统(RTP:快速热工艺)中加热的硅晶片的温度均匀性
机译:快速热系统中窗口热扩散率对硅晶片温度的影响
机译:线性升温温度瞬态快速热处理中12英寸硅片的热均匀性
机译:激光超声仪器,用于快速热处理系统中硅晶片的准确温度测量
机译:使用原位椭偏仪在快速热处理中测量和控制硅片温度和氧化膜厚度。
机译:通过硅烷化合物改性和快速热退火处理化学镀镍磷膜在硅片上的附着力
机译:快速热系统中窗口热扩散率对硅片温度的影响
机译:波长相关辐射对灯加热快速热处理系统仿真的影响