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【2h】

Stepwise Ni-silicide Process for Parasitic Resistance Reduction for Silicon/metal Contact Junction

机译：用于硅/金属接触结的寄生电阻降低逐步Ni-硅化物方法

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作者
Hoon Choi; Il-Whan Cho; Sang-Jeen Hong;
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年度 2008
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